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1 VaporSorb化學濾網適於高階半導體制程 于 周日 1月 10, 2016 8:58 pm

 Entegris Inc。宣布推出空氣分子污染(AM[url=http://www.air-dajing.com.tw/]化學濾網[/url]C)化學濾網 VaporSorb 系列的擴充產品。Entegris為首創的 [url=http://www.air-dajing.com.tw/]無塵室設備[/url]VaporSorb TRK 化學濾網新增在黃光制程中脫除弱酸,以涵蓋四種主要空氣分子污染類型,適用於半導體制造關鍵步驟的無塵室環境和制程生產機台。[url=http://www.air-dajing.com.tw/]空調規劃設計[/url]
 
   VaporSorb 化學濾網的設計已能以單一過濾器捕捉空氣有機物、鹼和強酸。新型 VaporSorb TRK 已添加特殊材質,使其成為第一個不僅能捕捉前三種核心污染物類別,還能捕捉第四類別的化學濾網[url=http://www.air-dajing.com.tw/]不織布濾網[/url],也就是定義為弱酸的類別。
 
   針對光微影塗布/曝光機追蹤設計新型化學濾網,首創「四合一」化學濾網解決方案設立在過去的「三合一」技術上,避免了多重化學濾網的處理。此外,本化學濾網能保持 VaporSorb 的使用壽命,降低生產機台的停機時間和持有成本。
 
   Entegris AMC過濾服務部資深產品行銷經理 Joe Wildgoose 表示:「目前的黃光制程良率問題可望減輕;解決問題要[url=http://www.air-dajing.com.tw/]袋型濾網[/url]從處理一個必須處理的污染物類別開始,也就是弱酸。 VaporSorb TRK 不僅是能處理三種常見主要問題的單一解決方案,還能處理最新關於弱酸性空氣污染物的問題。」
 
   弱酸的例子包括醋酸和甲酸(醋酸鹽; CH3COO- 和甲酸鹽; HCOO- ),以及亞硝酸(亞硝酸鹽; NO2-)。這些污染物會在黃光制程中[url=http://www.air-dajing.com.tw/]除臭抗菌濾網[/url]產生污染和產量的問題,因為不僅傳統 AMC 化學濾網無法除去這些污染物,而且使用傳統設計過濾器時還可能產生有機污染。
 
 
 
氬焊機[url][/url],slide bearing,Plastic bearing,powder metal,sintered metal]

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